主要特征：
橋架固定，工作臺移動的固定橋式結(jié)構(gòu)，為整機提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎(chǔ)，并確保高速運行時，振動對精度的影響小
? 陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計量室環(huán)境下的測量提供了穩(wěn)定的高精度
? 中心驅(qū)動系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺的*，阿貝誤差小
? Y向采用燕尾導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提高了機器的精度和重復(fù)性
? 柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動的優(yōu)點，確保高加速度時定位精確，從而提高運動的平穩(wěn)性
? Z向采用可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，提高了機器的動態(tài)性能，提升Z軸安全性
? 標(biāo)配溫度傳感器，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
? 采用HEIDENHAIN高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB認(rèn)證