“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目通過(guò)初步驗(yàn)收

  2019年3月22日，國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目初步驗(yàn)收會(huì)議在上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院召開(kāi)。會(huì)議由國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局科財(cái)司主持，中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)蒲長(zhǎng)城擔(dān)任專(zhuān)家組組長(zhǎng)，上海市市場(chǎng)監(jiān)管局、上海市科委領(lǐng)導(dǎo)出席會(huì)議。

    “跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目于2014年10月正式獲得國(guó)家科技部批準(zhǔn)立項(xiàng)。由上海計(jì)測(cè)工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭，上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院提供技術(shù)支撐?？偨?jīng)費(fèi)7681萬(wàn)元，其中中央財(cái)政專(zhuān)項(xiàng)經(jīng)費(fèi)投入3731萬(wàn)元，終，該項(xiàng)目將形成年產(chǎn)50臺(tái)生產(chǎn)能力，累計(jì)銷(xiāo)售收入5000萬(wàn)元。

    項(xiàng)目研究的內(nèi)容主要是突破我國(guó)在微納米檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域檢測(cè)方法集成開(kāi)發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，攻克宏微聯(lián)動(dòng)多軸驅(qū)動(dòng)和多測(cè)頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計(jì)量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測(cè)中微形貌和幾何尺寸測(cè)量的微納米測(cè)量?jī)x，并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測(cè)量與研發(fā)平臺(tái)，為我國(guó)國(guó)防、航空航天、半導(dǎo)體制造業(yè)、微機(jī)電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領(lǐng)域提供有效的納米計(jì)量技術(shù)的支持和保障，提升我國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測(cè)量的技術(shù)水平。

    目前，項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)發(fā)出6種不同型號(hào)跨尺度微納米測(cè)量?jī)x，攻克了宏微結(jié)合多軸驅(qū)動(dòng)和復(fù)合式測(cè)頭集成、原子沉積光柵納米量值溯源、雙角度傾斜式場(chǎng)掃描等關(guān)鍵技術(shù)。項(xiàng)目開(kāi)發(fā)的雙測(cè)頭——光學(xué)干涉測(cè)頭和掃描探針顯微測(cè)頭垂直方向具有納米級(jí)分辨力，結(jié)合自主開(kāi)發(fā)的跨尺度微納米測(cè)量?jī)x軟件，能實(shí)現(xiàn)高度(深度)、表面粗糙度和平面度測(cè)量功能。項(xiàng)目成果可應(yīng)用于航空航天、微電子、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域，為提升我國(guó)微納米領(lǐng)域測(cè)量能力奠定了基礎(chǔ)。

    驗(yàn)收會(huì)上，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邵力院長(zhǎng)、技術(shù)負(fù)責(zé)人同濟(jì)大學(xué)李同保院士以及各任務(wù)負(fù)責(zé)人向?qū)＜医M做了項(xiàng)目和任務(wù)的技術(shù)成果匯報(bào)。專(zhuān)家組根據(jù)初步驗(yàn)收要求，著重對(duì)項(xiàng)目及下設(shè)的任務(wù)進(jìn)行驗(yàn)收。專(zhuān)家組審閱了相關(guān)資料，并現(xiàn)場(chǎng)參觀了項(xiàng)目成果“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x”樣機(jī)。經(jīng)專(zhuān)家質(zhì)詢(xún)和討論，專(zhuān)家組形成驗(yàn)收意見(jiàn)并一致同意項(xiàng)目通過(guò)本次驗(yàn)收。

“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目通過(guò)初步驗(yàn)收