安徽思成儀器技術(shù)有限公司
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閱讀:20發(fā)布時間:2024-11-23
初識軟X射線及極紫外光譜
軟X射線(Soft X-Ray)與極紫外( eXtreme UV) 波段的光譜技術(shù)給科學(xué)和技術(shù)提供了其他波段所不能及的豐富機會 。此波段光輻射的波長要比可見光或紫外輻射短很多 ,因此用這個波段的顯微技術(shù)可以看到更小的結(jié)構(gòu)紫外光譜怎么分析,用這個波段的光刻可以寫下更精細(xì)的圖案 。 軟 X 射線/極紫外譜區(qū)中的光子能量基本上與幾乎所有元素的主要共振線匹配 ;雖然在材料中的吸收長度非常短(典型為1微米或更短),但是正是這個波段為元素和化學(xué)分析提供了非常精確的方法,例如在表面科學(xué)和環(huán)境科學(xué)中廣泛使用軟X射線-極紫外光來進行元素分析和化學(xué)分析。
特定的波段造就光譜儀設(shè)計的性
XUV ~ Soft X-Ray
極紫外-軟X射線波段不能在空氣中傳播,同時材料的反射、透射特性均和可見光波段有非常大的不同。因此極紫外-軟X射線光譜儀設(shè)計非常特殊:
針對嚴(yán)苛的要求
美國mcpherson公司可提供解決方案
美國McPherson 公司位于美國麻省,在光柵光譜儀及光譜系統(tǒng)方面具備逾60年的設(shè)計制造經(jīng)驗,尤其在軟X射線-真空紫外波段光柵光譜以及長焦距、大口徑快速光譜、級聯(lián)光譜儀方面提供業(yè)界的技術(shù)指標(biāo),并在各類研究領(lǐng)域享有盛名。同時McPherson 提供軟X射線 - 遠(yuǎn)紅外的光源及探測器、真空狹縫/快門/濾光片輪/反射式匯聚器等核心部件,以及全波段透射/反射/吸收/熒光/拉曼/光度學(xué)與輻射度學(xué)測試系統(tǒng)。
輕松探秘極紫外光譜紫外光譜怎么分析,讓神秘不再
極紫外光源診斷
垂直安裝的McPherson 248/310 光譜儀與 Andor‐Technology DO420BN‐995 直接探測相機CCD:
XAPPER光源位于LLNL,全稱“射頻預(yù)電離氙氣Z-箍束光源",目標(biāo)是為了光刻、損傷測試、解離與燒蝕提供新一代光源,采用一臺248/310與一臺Andor CCD測量光譜。
部分典型光譜如下:
高次諧波探測
McPherson 248/310 掠入射光譜儀與MCP探測器以及Andor DH420A-FO相機:
在這種架構(gòu)中MCP與羅蘭圓相切,以獲得探測器面陣上聚焦。MCP探測器具備光增益功能,更可以加以門控,并和實驗系統(tǒng)同步。MCP采用光纖錐與CCD耦合。 (UNM)
高次諧波光譜圖樣,利用McPherson 248/310譜儀,MCP耦合的Andor相機在不同中心波長位置拍攝 (Max‐ Planck‐Institut).
掃描模式拍得的高次諧波光譜 (Friedrich‐Schiller‐University)
除此之外,248/310 還廣泛用于
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