臺式勻膠機(jī)/旋涂儀 DP-01

臺式勻膠機(jī)/旋涂儀用途

勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻的 半導(dǎo)體工藝、制版、及表面涂覆等工藝，該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速，并能半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。 勻膠機(jī)具有快速啟動、快速切換轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速穩(wěn)定的性能，能夠膠膜厚度的一致性和均勻性。采用觸摸屏控制，實(shí)現(xiàn)啟/停可控，轉(zhuǎn)速實(shí)時觀察、三檔 轉(zhuǎn)速可來回切換等功能，啟動后在低速下進(jìn)行勻膠，再切換至高速下進(jìn)行甩膠， 轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)； 儀器配置了“安全開關(guān)"按鈕，儀器運(yùn)轉(zhuǎn)時，上蓋處于關(guān)閉狀態(tài)，一旦上蓋 打開，將觸發(fā)“安全開關(guān)"，儀器停止運(yùn)轉(zhuǎn)，起到保護(hù)作用。

技術(shù)參數(shù) 

轉(zhuǎn)速：硅片 4 英寸（含）以內(nèi) 300-8500RPM；4 英寸以上 300-6000RPM 

時間控制：1-32767s 

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1% 

膠的均勻性：±3% 

參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù) 

適用于φ28 至φ200mm 硅片及其它材料等勻膠 

電源輸入：AC220V±10V，50HZ 

功率：60W 

重量：13kg 

外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D） 

工作環(huán)境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %