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當(dāng)前位置:上海京度電子科技有限公司>>技術(shù)文章>>電子濕化學(xué)品-電子級(jí)硫酸
英文名:Sulfuric Acid,分子式:H2SO4,硫的重要的含氧酸,無(wú)水硫酸為無(wú)色油狀液體,10.36℃時(shí)結(jié)晶,沸點(diǎn)338℃,相對(duì)密度為1.84。硫酸是一種活潑的二元無(wú)機(jī)強(qiáng)酸,能和絕大多數(shù)金屬發(fā)生反應(yīng)。高濃度的硫酸有強(qiáng)烈吸水性,可用作脫水劑,碳化木材、紙張、棉麻織物及生物皮肉等含碳水化合物的物質(zhì)。與水混合時(shí),亦會(huì)放出大量熱能。其具有強(qiáng)烈的腐蝕性和氧化性,故需謹(jǐn)慎使用。
*,電子級(jí)硫酸又稱(chēng)高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純?cè)噭?,是一種微電子技術(shù)發(fā)展過(guò)程中*的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。目前廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路(IC)、半導(dǎo)體等微電子工業(yè),用作清洗和蝕刻劑.隨著中國(guó)微電子工業(yè)的高速發(fā)展,電子級(jí)硫酸的需求量日益增加,供不應(yīng)求,電子級(jí)硫酸有著良好的應(yīng)用前景.
電子級(jí)硫酸主要應(yīng)用于電子硅晶片生產(chǎn)過(guò)程的清洗和蝕刻。
硅圓片在加工過(guò)程中,常常會(huì)被不同的雜質(zhì)所沾污,可引起大規(guī)模集成電路產(chǎn)率下降50%左右。硅圓片上不溶性固體顆?;蚪饘匐x子可能在微細(xì)電路之間導(dǎo)電,使之短路,幾個(gè)金屬離子或灰塵足以使線寬較小的大規(guī)模集成電路報(bào)廢。
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