BX-Y1245A-400高溫四探針雙電組合電阻率測試儀用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。
關(guān)鍵詞
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產(chǎn)品用途:
BX-Y1245A-400高溫四探針雙電組合電阻率測試儀用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器特點:
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.
技術(shù)參數(shù):
1.方塊電阻范圍 | 10^-5~2×10^5Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10^-6~2×10^6Ω-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% |
PC軟件界面 | 顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
7.測試方式 | 雙電測量 |
8.四探針儀工作電源 | AC 220V±10%.50Hz <30W |
9.誤差 | ≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 |
10.溫度(選購) | 常溫 --200;400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃ |
11.氣氛保護(氣體客戶自備) | 常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子 |
12.溫度精度 | 沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C |
13.升溫速度: | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 |
14.高溫材料 | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征 |
15.PC軟件 | 測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)! |
16.電極(探針)材料標(biāo)配 | 鎢電極或鉬電極+電極(探針)陶瓷管 +高溫陶瓷樣品臺,1套. |
17.探針間距 | 直線型探針,探針間距:4mm; |
18.樣品要求 | 樣品長度要求≥13mm 樣品寬≥2mm或直徑≥13mm |
19.高溫電源: | 供電:400-1200℃ 電源220V,功率2-4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率4-6KW: |
20.標(biāo)配外(選購): | a電腦和打印機1套;b.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個; c.S型鉑銠探針電極(溫度范圍:200-1300度); d.B型鉑銠探針電極(溫度范圍:1400-1600度)
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