關(guān)鍵詞:
精密測量儀器電阻 電阻自動測試儀 自動電阻測試儀 電阻測試儀 測試儀電阻 四探針電阻測試儀
產(chǎn)品用途:
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量;選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片;新型電極設(shè)計,如電鍍銅電阻測量等;半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等。
儀器特點:
BX-Y1227全自動四探針電阻測量測試儀,全自動化運行測量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理;參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻;可設(shè)定探針壓力值、測試點數(shù)、多種測量模式選擇;真空環(huán)境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件.報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析。
技術(shù)參數(shù):
規(guī)格型號 | BX-Y1227 |
1.電阻 | 10^-5~2×10^5Ω |
2.方塊電阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-6~2×10^6Ω-cm |
4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100mA |
5.電流精度 | ±0.1% |
6.電阻精度 | ≤0.3% |
7.PC軟件操作 | PC軟件界面:電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、報表生成等 |
8.壓力范圍: | 探針壓力可調(diào)范圍:軟件控制,100-500g可調(diào) |
9.探針 | 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì),探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制 |
10.可測晶片尺寸選購 | 晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm); 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
11.分析模式 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
12.重復(fù)性 | 測量重復(fù)性:重復(fù)性≤3% |
13.防護(hù)功能 | 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報 |
14.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W |
15.選購項目 | 電腦和打印機(jī)
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