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介電擊穿機理可分為電擊穿、熱擊穿、化學擊穿、放電擊穿等，往往是多種機理綜合發(fā)生。
通常把不隨溫度變化的擊穿稱為電擊穿，把隨溫度變化的擊穿稱為熱擊穿。
熱擊穿的外部表現(xiàn)是介電強度隨溫度升高而迅速下降，與施加電壓作用的長短有關(guān)；與電場中產(chǎn)生的熱量大于它能散熱的熱量，使其內(nèi)部溫度不斷升高。
溫度升高導致其電阻下降，流經(jīng)試樣電流增大，產(chǎn)生的熱量更多，如此循環(huán)不已，致使介質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N聚焦態(tài)，失去耐電壓能力，材料被破壞。
電擊穿的特點是介電強度與周圍介質(zhì)的電性能有關(guān)；擊穿點常常出現(xiàn)在電極邊緣其至電極以外。
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