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NG-B二維精密計量納米編碼器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：真尚有查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-07-16 10:14:41瀏覽次數(shù)：111次

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產(chǎn)品簡介

NG XY計量系統(tǒng)用于測量二維超精密平面位移，NG是一款可以避免湍流效應(yīng)的基于柵格的XY的編碼系統(tǒng)，湍流效應(yīng)是激光干涉儀經(jīng)常會遇到的，該系統(tǒng)也可以避免與相單獨線性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG在制造柵格的過程中，能夠保證其達(dá)到激光干涉儀的精度，并且以一個更經(jīng)濟(jì)的價格、更實用和更新堅固的制造工藝來封裝它。

詳細(xì)介紹

- 主要特點-

  • 測量重復(fù)性為±20nm；

  • 低阿貝誤差；

  • 對湍流和大氣壓強(qiáng)的變化不敏感；

  • 分辨率可選20nm；

  • 易于安裝；

  • 柵格和探頭之間的間隙為12mm；

  • 對準(zhǔn)誤差低；

  • 可選真空版本；

  • 完善技術(shù)支持，可定制；

  • 標(biāo)準(zhǔn)的A-quad-B 輸出；

  • 低成本的超精密XY計量系統(tǒng)。

-應(yīng)用領(lǐng)域-

  • 高精度低成本的位置控制；

  • 實時校準(zhǔn)；

  • 精密金剛石車削實驗室；

  • 鏡頭自動對焦；


- 技術(shù)規(guī)格-

NG-B

系統(tǒng)性能

重復(fù)性

±20nm

精度（175mm×175mm）1

±200nm 滿量程

精度（380mm×380mm）1

±1.0um 滿量程

1（溫度變化±0.25℃）

速度2

1400mm/s

2(V-MAX=[邊緣頻率] X [LSB])

編碼器到探頭間距

12.0±0.1mm

測量區(qū)域
（其它區(qū)域可選）

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作溫度

+10°C～+40°C

存儲溫度

–20°C～+70°C

NG探頭

外形尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外殼材料

6061-T6鋁

光源（785nm）

Class IIIb，3mw，激光二極管

重量（不包括線纜）

110g

接口線纜

3m，15針接頭

雙軸POLARFLASH處理器（A-quad-B）

分辨率（可選）

LSB=5um÷2N；N=5,6,7,8；
≈20、39，78，156nm

邊緣頻率（可選）

1.25，2.5，5，10MHz

數(shù)據(jù)傳輸時間

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輸出格式

A-quad-B差分TTL/每根軸

外形尺寸

127mm X 84mm X 24mm

輸出格式

32位并行字

供電

+5DVC（±0.25V）@350mA

NG編碼器

間距（機(jī)械/光學(xué)）

10 μm / 5μm

鈉鈣膨脹系數(shù)

7.0 × 10-6/°C

石英（熔石英）膨脹系數(shù)

0.7 × 10-6/°C

如果想采用其他材料，請咨詢工廠

- 測量原理-

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