當(dāng)前位置:北京明尼克分析儀器設(shè)備中心>>技術(shù)文章>>鈍化產(chǎn)品CVD涂層特點及優(yōu)勢分析
鈍化技術(shù)是以材料表面涂覆CVD涂層來實現(xiàn)的,CVD是一種通過化學(xué)氣相沉積的方法應(yīng)用于材料表面的技術(shù)。
CVD(化學(xué)氣相沉積)是一種將揮發(fā)性前體(通常是在真空下)注入腔體內(nèi)的反應(yīng)過程,腔室加熱到反應(yīng)溫度,使前體氣體發(fā)生反應(yīng)或分解生成所需的涂層并與材料表面結(jié)合。隨著時間推移,涂覆材料建立在表面上并在暴露部分的表面形成涂層。
例如,如果想把硅附著在材料表面,需要使用三氯硅烷(SiHCl3)前體,當(dāng)SiHCl3在腔室加熱時,分解和涂層反應(yīng)如下:
SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl
硅將結(jié)合到任何暴露的表面(內(nèi)部和外部),而氯氣和鹽酸氣體將從腔室排放并根據(jù)適當(dāng)?shù)姆ㄒ?guī)要求進行清除。
CVD涂層系統(tǒng)中使用的材料從硅化合物到碳化合物,到氟碳或有機氟,以及類似氮化鈦這樣的氮化物。一些材料如硅,可以通過摻雜表面(改變或添加額外的化學(xué)物質(zhì))來進一步增強涂層的功能,以達到特定的性能目標。
化學(xué)氣相沉積不同于物理氣相沉積(PVD)等其他常見的涂層應(yīng)用方法,與化學(xué)氣相沉積相比,大多數(shù)常見的涂層噴涂工藝會導(dǎo)致視線外盲區(qū)不均勻的涂覆存在,化學(xué)氣相沉積涂層理論上可以應(yīng)用于涂層氣體能進入的任何區(qū)域,下圖形象表示出兩種涂覆的區(qū)別。
SilcoTek®公司CVD涂層工藝的特點:
·在高溫下應(yīng)用以促進反應(yīng);
·涂裝前必須清除零件表面的污染物;
·涂層氣體將覆蓋零件的所有區(qū)域,包括螺紋、盲孔和內(nèi)部表面;
·涂層在反應(yīng)過程中粘結(jié)到表面,與典型的PVD涂層相比,創(chuàng)造了*的附著力。
SilcoTek®公司CVD涂層的優(yōu)勢:
·可廣泛應(yīng)用于各種基材,包括金屬和金屬合金、陶瓷,玻璃;
·可噴涂精密表面和復(fù)雜表面,包括密封區(qū)域和內(nèi)部表面;
·能承受低溫、高溫溫度變化;
·持久的涂層與基材結(jié)合意味著涂層在高應(yīng)力環(huán)境中保持結(jié)合,即使基材表面彎曲也能適應(yīng)。
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