在17世紀(jì)，人們發(fā)現(xiàn)把兩塊凸透鏡組合起來，能明顯的提高放大能力，這種裝置就是顯微鏡的前身。架真正的顯微鏡，是用一片凸透鏡和一片凹透鏡重疊起來組合而成，又稱為復(fù)式顯微鏡，是荷蘭眼鏡匠詹森父子制成的，后來經(jīng)意大利天文學(xué)家伽利略加以改良，顯微鏡才有了更佳的效果。 最初的顯微鏡很簡單，只能放大50-200倍，以后又不斷改進(jìn)，逐漸發(fā)展。光學(xué)顯微鏡可以把物體放大到1500倍左右，能夠觀察到細(xì)菌的形狀。
1932 年，德國科學(xué)家諾爾和魯斯卡在柏林制成了一臺電子顯微鏡。電子顯微鏡用電子束代替光束，用磁場代替透鏡來觀察細(xì)微物體。電子顯微鏡一下子把放大倍數(shù)提高到1萬倍。到20世紀(jì)90年代，世界上已經(jīng)研制出放大率200萬倍的電子顯微鏡，人們利用它看到了物質(zhì)的內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu)?？匆娝形镔|(zhì)都是由一些肉眼看不見的極小極小的微粒組成的，發(fā)現(xiàn)了原子世界。
1983年，人們發(fā)明了掃描隧道顯微鏡。這種顯微鏡比電子顯微鏡更。自從掃描隧道顯微鏡發(fā)明后，世界上便誕生了一門以0.1納米至100納米這樣的尺度為研究對象的新學(xué)科，這就是納米科技。
目前,工業(yè)上常用的的顯微鏡根據(jù)功能和用途又可以分為下幾類:
1)測量顯微鏡:微電子及精細(xì)加工業(yè);采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于電子行業(yè),機械精加工。用來測量電子線路的寬度和精細(xì)小工件的幾何尺寸,以及其它精密零件測。增強型測量顯微鏡廣泛地適用于計量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。
2)體視顯微鏡:主要用于現(xiàn)場檢查,PCB,液晶等行業(yè)用的比較多;又稱"實體顯微鏡""立體顯微鏡",是一種具有正像立體感地目視儀器,被廣泛地應(yīng)用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、農(nóng)林、工業(yè)及海洋生物各部門。
3)金相顯微鏡:材料分析等,鋼鐵及金加工行業(yè)要求;主要用于鑒定和分析金屬內(nèi)部結(jié)構(gòu)組織,它是金屬學(xué)研究金相的重要儀器,是工業(yè)部門鑒定產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備,該儀器配用攝像裝置,可攝取金相圖譜,并對圖譜進(jìn)行測量分析,對圖象進(jìn)行編輯、輸出、存儲、管理等功能。
