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牛津X熒光測(cè)厚儀CMI900、920操作指導(dǎo)

時(shí)間:2019-3-21閱讀:4450
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牛津X-Strata920測(cè)厚儀器操作培訓(xùn)內(nèi)容

 

 

一、開(kāi)  機(jī)

打開(kāi)電腦、顯示器,打印機(jī)電源后再打開(kāi)測(cè)試主機(jī)

 

二、進(jìn)入程式

    待電腦啟動(dòng)完成后會(huì)自動(dòng)彈出SmartLink FP程序的密碼輸入提示對(duì)話框,(當(dāng)退出程式需重新登錄時(shí),需在windows桌面雙擊SmartLink FP圖標(biāo)亦會(huì)出現(xiàn)同樣的對(duì)話框),此時(shí)輸入合適密碼。

 

三、升  壓

    待機(jī)器完成初始化(即Z軸走臺(tái)上下移動(dòng)一周,直至走臺(tái)聲音停止),圖像下方的灰色GO鍵轉(zhuǎn)換成綠色時(shí)表示升壓工作完成(電壓升至45.0KV,電流升至0.8mA測(cè)量電流,然后自動(dòng)降為0.2mA待機(jī)電流)。

 

四、熱  機(jī)

關(guān)機(jī)超過(guò)3個(gè)小時(shí)后開(kāi)機(jī)必做。點(diǎn)擊“計(jì)數(shù)”,將波譜校準(zhǔn)片“Spect  cal”放入儀器,將Ag點(diǎn)移至十字線中間,鐳射聚焦,設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6秒,重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次, 點(diǎn)擊綠色Go鍵,等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。

 

五、波譜校準(zhǔn)

不關(guān)機(jī)狀態(tài)下每日必做或每次關(guān)機(jī)3小時(shí)以上再次重開(kāi)機(jī)必做,目的在于讓儀器進(jìn)行自我補(bǔ)償調(diào)整。

首先點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”圖標(biāo),然后將波譜校準(zhǔn)片“Spect  cal”放入儀器,將Cu-Ag合金點(diǎn)移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵)。

待儀器自動(dòng)完成每一步,紅色STOP鍵會(huì)轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag點(diǎn)移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功!”字樣的對(duì)話框時(shí),點(diǎn)擊“確定”即可。

若不成功,檢查是否做錯(cuò),或中途是否停止過(guò),或有無(wú)移動(dòng)過(guò)波譜片,此時(shí)需要重新完整再做一次波譜校準(zhǔn)。

 

六、測(cè)  量

回到測(cè)量界面,點(diǎn)擊上方“測(cè)量123”,依據(jù)不同的測(cè)試樣品選擇影像下方的“應(yīng)用檔案(App)”,點(diǎn)擊右方的黃色文件夾(即打開(kāi)檔案夾),選擇對(duì)應(yīng)鍍層的合適檔案,開(kāi)啟檔案,放入待測(cè)試樣品,將樣品測(cè)試點(diǎn)移至十字線中間,鐳射聚焦,點(diǎn)擊GO鍵開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量完成后可在右上方的顯示框中直接看到結(jié)果。

 

七、打  印

    點(diǎn)擊上方任務(wù)欄的“統(tǒng)計(jì)”下拉菜單中的“列印”選項(xiàng),選擇列印“所有的”或“單一數(shù)據(jù)”,離開(kāi)后點(diǎn)擊“確定”打印即可。

 

八、關(guān)  機(jī)

    先拿出樣品臺(tái)中的樣品,然后退出SmartLink FP程序(即點(diǎn)擊右上角“退出”或  ,回答“確定”,待降壓后自動(dòng)退出),然后關(guān)閉顯示器,主機(jī),打印機(jī)等。全部操作完成。    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

新建校準(zhǔn)檔案指引

 

一、進(jìn)入校準(zhǔn)模式

點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“FP校準(zhǔn)”圖標(biāo)。

 

二、創(chuàng)建新檔案

下面以Au/Ni/Cu為例

在校準(zhǔn)模式下點(diǎn)擊任務(wù)欄中左上方的新建“”圖標(biāo),此時(shí)出現(xiàn)元素周期表。

 

     選定元素:

     a:點(diǎn)擊元素周期表中的“Au”,按住鼠標(biāo)左鍵不放拖“Au”至右上方元素欄中的上層。

     b:點(diǎn)擊“Ni”拖至第二層。

     c:點(diǎn)擊“Cu”拖至第三層。

     d:點(diǎn)擊下方“離開(kāi)”,此時(shí)右下方出現(xiàn)參數(shù)功能選擇區(qū)。

     

設(shè)定參數(shù):

     a: 點(diǎn)擊“參數(shù)”,修改“測(cè)量時(shí)間( 例如60或90 秒 )”,“厚度單位( 例如微英寸 )”,“準(zhǔn)確度( 例如2 位小數(shù)點(diǎn)位數(shù) )”等。

     b: 點(diǎn)擊“標(biāo)準(zhǔn)片”,輸入Au薄片的厚度( 例如Au 4.0 UIN )和Ni薄片的厚度 ( 例如Ni 150.0UIN ), 此時(shí)注意輸入的數(shù)值一定要對(duì)應(yīng)a項(xiàng)中的單位,不可混淆。

       

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片:

      a: 點(diǎn)擊右上方的“Au* ”,放入Au*標(biāo)準(zhǔn)片,調(diào)焦,測(cè)量。

      b: 點(diǎn)擊右上方的“NI* ”,放入Ni*標(biāo)準(zhǔn)片,調(diào)焦,測(cè)量。

      c: 點(diǎn)擊右上方的“CU* ”,放入Cu*標(biāo)準(zhǔn)片,  調(diào)焦,測(cè)量。

      d: 點(diǎn)擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 ),按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起,AU( 4.0UIN )在上方,Ni( 150.0UIN )在下方,然后放在 Cu* 標(biāo)準(zhǔn)片上,對(duì)齊位置,放入模具,輕輕放進(jìn)樣品臺(tái),鐳射聚焦,測(cè)量。

   

     存檔

      點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“保存”圖標(biāo),以合適文件名命名存檔。

 

三、轉(zhuǎn)換應(yīng)用檔案指引

(一般建立新檔案后需要進(jìn)行此步驟,更新舊檔案則不需要)

a、進(jìn)入設(shè)立程式

       點(diǎn)擊任務(wù)欄右上方的的應(yīng)用圖標(biāo)“應(yīng)用”,進(jìn)入設(shè)立應(yīng)用檔案模式。

b、選校準(zhǔn)檔案

       點(diǎn)擊下方“選擇校準(zhǔn)檔案”,出現(xiàn)全部校準(zhǔn)檔案文件,選定要設(shè)立的檔案。

c、設(shè)定參數(shù)

點(diǎn)擊“參數(shù)”,修改“測(cè)量時(shí)間( 例如15 S )”,“厚度單位( 例如微英寸 )”,“準(zhǔn)確度( 例如2 位小數(shù)點(diǎn)位數(shù) )”。

d、固定格式打印報(bào)告的關(guān)聯(lián)

點(diǎn)擊“打印”,若有編輯打印報(bào)告,可點(diǎn)擊“選擇報(bào)告”,選定合適的固定格式報(bào)告 。

e、存檔

點(diǎn)擊“保存”,輸入合適文件名存檔。

f、操作完成,可測(cè)量樣品。

點(diǎn)擊任務(wù)欄中上方的 “測(cè)量123 圖標(biāo),進(jìn)入測(cè)量模式,然后選擇影像下方的“應(yīng)用”,即可放入樣品測(cè)試。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

更新校準(zhǔn)檔案指引

 

一、什么時(shí)候需要更新校準(zhǔn)檔案?

以Au(4.0)/Ni(150.0)/Cu檔案為例,假如我們?cè)谟跋裣路降?ldquo;應(yīng)用”檔案里面調(diào)出Au/Ni/Cu檔案測(cè)量樣品結(jié)果感覺(jué)與理想值厚度出入較大時(shí),我們可以從影像下方的“校準(zhǔn)”檔案里面調(diào)出Au/Ni/Cu檔案,然后按將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起,AU( 4.0UIN )在上方,Ni( 150.0UIN )在下方,然后放在 Cu* 標(biāo)準(zhǔn)片上,對(duì)齊位置,放入模具,輕輕放進(jìn)樣品臺(tái),鐳射聚焦,測(cè)量??礈y(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)品實(shí)際結(jié)果偏差是否在允許誤差范圍內(nèi),若在誤差允許范圍內(nèi),則證明檔案正確。若不在誤差允許范圍內(nèi),則需要更新該校準(zhǔn)檔案。

 

二、如何更新校準(zhǔn)檔案

點(diǎn)擊上方任務(wù)欄中的“FP校準(zhǔn)”圖標(biāo),點(diǎn)擊任務(wù)欄中“打開(kāi)”圖標(biāo)

此時(shí)出現(xiàn)“FP校準(zhǔn)檔案全部文件。

選則檔案:

       a: 點(diǎn)擊需要更新的檔案名。

       b: 點(diǎn)擊“打開(kāi)”。

    測(cè)量:(以Au/ Ni/Cu為例)

       a: 點(diǎn)擊右上方的“Au* ”,放入Au*標(biāo)準(zhǔn)片,調(diào)焦,測(cè)量。

       b: 點(diǎn)擊右上方的“NI* ”,放入Ni*標(biāo)準(zhǔn)片,調(diào)焦,測(cè)量。

       c: 點(diǎn)擊右上方的“CU* ”,放入Cu*標(biāo)準(zhǔn)片,  調(diào)焦,測(cè)量。

       d: 點(diǎn)擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 ),按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起,AU( 4.0UIN )在上方,Ni( 150.0UIN )在下方,然后放在 Cu* 標(biāo)準(zhǔn)片上,對(duì)齊位置,放入模具,輕輕放進(jìn)樣品臺(tái),鐳射聚焦,測(cè)量。

存檔: 

等待測(cè)量完成后一項(xiàng),GO鍵變綠后,點(diǎn)擊“保存”存檔。

(更新校準(zhǔn)檔案時(shí)不需要設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)片參數(shù)等等,只需要按步驟測(cè)完每一項(xiàng),并且準(zhǔn)確放入對(duì)應(yīng)厚度的標(biāo)準(zhǔn)片)

 

三、更新完成

a: 檢查檔案是否更新成功

疊加的標(biāo)準(zhǔn)片繼續(xù)放在樣品臺(tái)內(nèi)不用拿出來(lái),再次從影像下方的“校準(zhǔn)”檔案里面調(diào)出Au/Ni/Cu檔案,鐳射聚焦,測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片??礈y(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)品實(shí)際結(jié)果偏差是否在允許誤差范圍內(nèi),若在誤差允許范圍內(nèi),則證明更新檔案成功。  

    b: 操作完成,可測(cè)量樣品。

點(diǎn)擊影像下方的“應(yīng)用”,從右方的黃色文件夾(即打開(kāi)檔案夾)里選擇對(duì)應(yīng)鍍層的合適檔案測(cè)量樣品。

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