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壓阻式壓力傳感器以半導(dǎo)體應(yīng)變片為主，其常用的彈性變形體是單晶硅膜片。因此，半導(dǎo)體應(yīng)變片可采用集成電路技術(shù)直接在彈性元件上形成擴(kuò)散硅電阻，在膜片睛擴(kuò)散硅四只應(yīng)變電阻，組成一個(gè)全橋測(cè)量電路。壓阻式壓力傳感器的特點(diǎn)是體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏系數(shù)大，單晶硅膜片既是彈性元件又是壓敏元件，易于批量生產(chǎn)。有的壓阻式傳感器甚至將溫度補(bǔ)償電路、電源變換電路、放大電路集成在同一硅膜片上，既提高傳感器的靜態(tài)特性和穩(wěn)定性，又實(shí)現(xiàn)傳感器的微型化、集成化和智能化，是目前發(fā)展和應(yīng)用較為迅速的壓力傳感器。這種傳感器又稱固態(tài)壓力傳感器，也集成壓力傳感器
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