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應(yīng)變片按敏感元件材料的不同可分為金屬和半導(dǎo)體兩大類,從敏感元件的形態(tài)又可進(jìn)一步細(xì)分為如表所示。金屬電阻應(yīng)變片中絲式、箔式、薄膜式zui為常見(jiàn),絲式應(yīng)變片是zui早使用的,性能較之*的箔式敏感柵是通過(guò)光刻、腐蝕等工藝制成,便于批量生產(chǎn),薄膜型應(yīng)變片是采用真空離子束濺射技術(shù)或真空沉積技術(shù),在薄絕緣基片上蒸鍍金黃色屬電阻薄膜,再加上保護(hù)層制成,具有更高的靈敏度和更寬的工作溫度。
表 應(yīng)變片分類
金屬 | 半導(dǎo)體 | |||||||
體型 | 薄膜型 | 體型 | 薄膜型 | 擴(kuò)散型 | 外延型 | PN結(jié)等 | ||
絲式 | 箔式 | |||||||
紙基 | 膠基 | |||||||
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