SPM監(jiān)測(cè)儀 CS-150

SPM監(jiān)測(cè)儀 CS-150是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SPM溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化。可以實(shí)時(shí)檢測(cè)金屬離子以及有機(jī)物的清除作業(yè)中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分濃度，通過報(bào)警信號(hào)通知自動(dòng)補(bǔ)給的時(shí)間。由于實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性和短的檢測(cè)周期，可以忠實(shí)地跟蹤濃度變化，并且，由于小巧化設(shè)計(jì)，可以更容易組裝到清洗裝置中。

特征

以大約3秒的檢測(cè)周期支持300mm工藝的濃度管理。實(shí)現(xiàn)了約3秒這樣短的檢測(cè)周期。大幅提高了濃度的實(shí)時(shí)跟蹤性。支持多徑方式和單徑方式清洗裝置詳細(xì)的濃度管理。

?小巧設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間
底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-340比較

?通過減少清洗工藝中的批次不良，提高了原材料利用率
通過使用監(jiān)測(cè)輸出，進(jìn)行SPM溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高重現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高原材料利用率。

?通過全自動(dòng)檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)易管理
用戶只需要引入SPM溶液即可。由于檢測(cè)是全自動(dòng)方式，所以開始檢測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。并且，參照光譜檢測(cè)由于使用空氣，所以不需要利用水。

?通過采取*的氣泡對(duì)策，可以進(jìn)行連續(xù)檢測(cè)
由于內(nèi)置有脫泡功能，在快到檢測(cè)池時(shí)分離氣泡，從而可以在液體流動(dòng)的狀態(tài)下連續(xù)檢測(cè)。