熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個(gè)傳感器測(cè)量流量溫度，另一個(gè)傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進(jìn)行流量測(cè)量。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)具有如下技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
1.數(shù)字化設(shè)計(jì)。整體數(shù)字化電路測(cè)量，測(cè)量準(zhǔn)確、維修方便。
2.采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實(shí)現(xiàn)工廠自動(dòng)化、集成化。
3.安裝維修簡(jiǎn)便。在現(xiàn)場(chǎng)條件允許的情況下，可以實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。
4.真正的質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測(cè)量無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償，測(cè)量方便、準(zhǔn)確。可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。
5.寬量程比，可測(cè)量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。
6.抗震性能好使用壽命長(zhǎng)。傳感器無(wú)活動(dòng)部件和壓力傳感部件，不受震動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的傳感器部分由二個(gè)精密鉑熱電阻組成。該電阻封裝在不銹鋼管內(nèi)，與流體介質(zhì)不直接接觸，但有良好的傳熱性能。其中一根較短的為介質(zhì)溫度傳感元件；另一根為加熱元件。當(dāng)氣體流過加熱元件時(shí)，將熱量帶走。帶走的的熱量與流體的流速和流體的密度成正比。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)由兩個(gè)溫度傳感器組成。一定量的加熱功率P施加至其中一個(gè)傳感器上．使其溫度升高至被測(cè)值T2。另一個(gè)傳感器測(cè)量氣體溫度T1。根據(jù)被加熱器傳感器和氣體的溫差(△T2T1)和所加熱功率P就可以確定氣體的質(zhì)量流量。