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GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

更新時(shí)間:2025-01-10 09:43:11瀏覽次數(shù):14次

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一款專門用于檢測半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體濃度的儀器

產(chǎn)品詳情

GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀是一款專門用于檢測半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體濃度的儀器,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點(diǎn)。電磁泵吸式吸氣,進(jìn)氣管長度可達(dá)30米,氣管接頭采用快插接頭,操作施工方便。支持行業(yè)內(nèi)如氨氣、、氯氣、硅烷等四十多種氣體的檢測,適用于半導(dǎo)體晶圓、液晶面板及光伏面板制造等行業(yè)。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1.泵壽命長,流量恒定
電磁泵吸原理,相對電機(jī)式機(jī)械磨損小
流量監(jiān)控,PID控制算法

2.配件替換簡單,便于維護(hù)
卡扣式前蓋,手動(dòng)開合
傳感器模組、泵模塊化設(shè)計(jì)

3.通信方式豐富
標(biāo)配4~20mA
可選485總線、消防總線或Ethernet

4.氣體檢測精度高
溫度補(bǔ)償
零點(diǎn)自動(dòng)校準(zhǔn)

5.大屏顯示,內(nèi)容豐富
LCD點(diǎn)陣屏,可顯示任意字符
支持中英文切換

6.支持多種氣體檢測
支持電化學(xué)、催化、光學(xué)等原理傳感器
可搭配熱裂解器實(shí)現(xiàn)NF3氣體檢測

7.參數(shù)可配,使用靈活
零點(diǎn)抑制、零點(diǎn)跟蹤可配置
報(bào)警閾值及延時(shí),報(bào)警屏蔽可配置

8.報(bào)警聯(lián)動(dòng),輸出控制
內(nèi)置ALM1、ALM2、故障3個(gè)繼電器

主要應(yīng)用

適用于半導(dǎo)體制造、液晶面板制造、光伏制造和電池制造等行業(yè)。是一款高精度、 高靈敏度的氣體檢測儀, 能夠準(zhǔn)確地檢測和監(jiān)測工廠中的有毒氣體、 、 腐蝕性氣體等。

技術(shù)指標(biāo)

檢測氣體 支持多達(dá)百種氣體(不斷擴(kuò)充中…) 氣體報(bào)警指示 ALM1指示燈亮紅色/ALM2指示燈亮紅色,屏幕指示ALARM1/ALARM2
檢測原理 電化學(xué)、催化、光學(xué) 氣體報(bào)警動(dòng)作 自動(dòng)復(fù)位,記錄觸發(fā)和復(fù)位記錄
采樣方式 泵吸 氣體報(bào)警控制 ALM1/ALM2繼電器動(dòng)作,常開常閉可配置
流量 默認(rèn)0.5L/min±10%,可調(diào) 故障報(bào)警類型 流量故障/傳感器故障/通信故障
工作方式 連續(xù)監(jiān)測 故障報(bào)警指示 故障指示燈亮黃色
響應(yīng)時(shí)間T90 電化學(xué) < 60s,催化 < 30s 故障報(bào)警動(dòng)作 自動(dòng)復(fù)位,記錄觸發(fā)和復(fù)位記錄
示值誤差 不同氣體不同,詳見具體傳感器參數(shù) 故障報(bào)警控制 故障繼電器動(dòng)作,常開常閉可配置
檢測量程 不同氣體不同,詳見具體傳感器參數(shù) 檢測儀功能 報(bào)警延時(shí)/零點(diǎn)抑制/零點(diǎn)跟蹤/靈敏度補(bǔ)償/實(shí)時(shí)流量/零點(diǎn)平移/跨度標(biāo)定/標(biāo)定記錄/報(bào)警記錄/事件記錄/
分辨率 不同氣體不同,詳見具體傳感器參數(shù) 可擴(kuò)展熱裂解
氣體單位 不同氣體不同,詳見具體傳感器參數(shù) 輸出信號(hào) 4-20mA/以太網(wǎng)
濃度顯示 LCD點(diǎn)陣屏,分辨率200 x 140 安裝方式 壁掛
傳感器模組接口 數(shù)字接口 電源 DC24V/POE
指示燈 4顆(電源指示燈綠色、ALM1指示燈紅色、ALM2指示燈紅色、故障指示燈黃色) 功耗 小于3.5W
繼電器輸出控制 3路(ALM1報(bào)警、ALM2報(bào)警、故障) 重量 約 750g
繼電器容量 AC125V、0.25A/DC24V、0.5A …… ……

 

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