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MEMS 酒精氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
本品采用MEMS工藝，結構堅固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點
適用于手機、電腦等消費類子產(chǎn)品應用檢測所處場所的乙醇蒸汽；也適用于機動車駕駛人員及其他風險作業(yè)人員的酒后監(jiān)督。
| 氣敏元件特性 | 符號 | 標準值 | 最小值 | 值 | 單位 |
| 傳感器電阻 | R0 | – | 100 | 500 | KΩ |
| 氣體（C2H5OH）檢測濃度 | FS | – | 1 | 500 | ppm |
| 靈敏度 | S50 | – | 1.2 | 50 | – |
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