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MEMS 硫化氫氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。
GM-602B硫化氫氣體傳感器采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅固，對硫化氫靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點(diǎn)。
GM-602B硫化氫氣體傳感器主要應(yīng)用于便攜式與固定式硫化氫監(jiān)測器；硫化氫檢測儀。
| 產(chǎn)品型號 | GM-602B | ||
| 產(chǎn)品類型 | MEMS硫化氫氣體傳感器 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測氣體 | 硫化氫、苯等 | ||
| 檢測濃度 | 0.5～500ppm(H2S) | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 1.9V±0.1V AC or DC | |
| 負(fù)載電阻 | RL | 可調(diào) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤40mW | |
| 敏感體表面電阻 | Rs | 1KΩ～30KΩ(in 50ppmH2S | |
| 靈敏度 | S | R0(in air)/Rs(in 50ppmH2S)≥3 | |
| 濃度斜率 | α | ≤0.6(R200ppm/R50ppmH2S) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試電路 | Vc:5.0V±0.1V； VH:1.9V±0.1V | ||
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