MEMS 可燃?xì)怏w傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。

本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，對(duì)可燃?xì)怏w靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)

適用于手機(jī)、電腦等消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品應(yīng)用檢測(cè)燃?xì)庑孤灰策m用于用于家庭、商業(yè)用所的可燃?xì)怏w泄漏監(jiān)測(cè)裝置、氣體檢漏儀、防火/安全探測(cè)系統(tǒng)。