集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。觀察樣品:≤Ø300 mm晶片，觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
●電動(dòng)鏡頭旋轉(zhuǎn)及光圈電動(dòng)控制
●具明視野.暗視野.干涉相位差.偏光等功能選擇
●基座本體一體成型,加強(qiáng)防震效果,Z軸調(diào)焦1格1um
●目鏡筒可針對(duì)user高度上下調(diào)整角度,并外接CCD Camera或數(shù)字相機(jī),將影像儲(chǔ)存及傳輸
●目鏡有標(biāo)準(zhǔn)10X(FN22)or超廣角10X(FN25)供選擇

增強(qiáng)的觀察、耐用性和操作性能，以及顯微鏡和數(shù)碼相機(jī)之間改進(jìn)的功能，提供了理想的成像效果

增強(qiáng)觀測(cè)性能

Epi熒光觀察拓寬了檢測(cè)范圍（L300N/L300ND/L200ND）
·L300N/L300ND/L200ND能夠進(jìn)行立體照明，并提供各種觀察方法，如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)單偏振和DIC。它還采用Epi熒光觀察，包括365 nm紫外激發(fā)。
·對(duì)檢測(cè)半導(dǎo)體抗蝕劑殘留物和有機(jī)電致發(fā)光顯示器非常有益。
物鏡：CFI60-2 TU Plan Fluor 10x

用于Epi熒光觀察的電動(dòng)汞素光纖照明控制增強(qiáng)器（L300N/L300ND/L200ND）
·采用電動(dòng)控制汞素預(yù)對(duì)中光纖照明器。
·即使在更換燈后，也不需要調(diào)整燈的對(duì)中和焦點(diǎn)。
·光源可以遠(yuǎn)離顯微鏡，減少顯微鏡附近的熱量，防止散焦。
·可變光強(qiáng)度和快門(mén)控制提供了的靈活性。
·該燈的平均壽命為2000小時(shí)。

 
比常規(guī)Dia觀測(cè)亮度高四倍（僅L300ND）
·L300ND采用了一種新光源和的光學(xué)器件，為立體觀察提供了四倍于原來(lái)亮度的照明。
 
CFI60-2光學(xué)器件提供長(zhǎng)工作距離和高NA
·尼康原裝CFI60-2光學(xué)鏡頭通過(guò)高NA和更寬的采樣范圍提供圖像亮度，以及具有長(zhǎng)工作距離。
·通過(guò)弱小化光斑，提供清晰、高對(duì)比度的亮場(chǎng)圖像。
·“飛眼”透鏡陣列可在整個(gè)視野中提供均勻照明，用于暗場(chǎng)照明光學(xué)系統(tǒng)，可獲得非常明亮的高分辨率暗場(chǎng)圖像。

高強(qiáng)度12V-50W鹵素照明器比標(biāo)準(zhǔn)12V-100W照明器更亮
·采用LV-LH50PC前置燈箱，其亮度比12V-100W照明器更高，功耗為一半。
·采用燈罩后視鏡并優(yōu)化燈絲尺寸，可在瞳孔平面上實(shí)現(xiàn)有效且均勻的照明，這在光學(xué)系統(tǒng)中至關(guān)重要。與標(biāo)準(zhǔn)12V-100W照明器相比，放大50倍或更高的物鏡可提高20%的亮度。
·采用環(huán)保設(shè)計(jì)，減少熱引起的散焦。

電動(dòng)通用鼻輪比傳統(tǒng)機(jī)型耐用三倍
• 多可安裝六個(gè)物鏡。
•可在三個(gè)鼻輪位置（僅L300N/L300ND）使用定心機(jī)構(gòu)。
•即使在高放大率下，改進(jìn)的中心度也可以≤限度地減少物鏡改變時(shí)的圖像偏移。這使得從高到低的放大率可以進(jìn)行穩(wěn)定的觀察。
•為了保護(hù)操作員的眼睛，當(dāng)鼻輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，防閃光機(jī)構(gòu)接合。

抗靜電涂層可有效防止污染
·防靜電涂層已應(yīng)用于機(jī)身、載臺(tái)、目鏡管和其他各種控制裝置。這些涂層加強(qiáng)了對(duì)污染的防護(hù)，有助于防止靜電電荷對(duì)樣品造成損壞，從而提高產(chǎn)量。
 
傾斜式三目目鏡管，用于在 佳眼點(diǎn)水平進(jìn)行觀察
·超寬25 mm視場(chǎng)，目鏡角度在0°和30°之間調(diào)整
·允許操作員調(diào)整眼點(diǎn)水平，以確保舒適的觀察位置

X-Y精細(xì)移動(dòng)控制
·X-Y精細(xì)移動(dòng)控制裝置位于操作員附近。
·所有控制裝置都位于彼此附近，可以輕松地進(jìn)行載臺(tái)運(yùn)動(dòng)和聚焦。

使得目標(biāo)物更容易被聚焦
·在光路中插入聚焦目標(biāo)，可以輕松準(zhǔn)確地聚焦低對(duì)比度樣品，如裸晶圓。

位于顯微鏡前部的控制裝置
·主控制旋鈕和按鈕位于顯微鏡前部，便于操作。
·可以在觀察樣品的同時(shí)快速輕松地進(jìn)行顯微鏡操作。
·盡量減少長(zhǎng)時(shí)間觀察導(dǎo)致的疲勞。

 
提高顯微系統(tǒng)和數(shù)碼相機(jī)的功能性
優(yōu)化工作流觀察、圖像捕獲和分析
 
·尼康同時(shí)開(kāi)發(fā)了顯微鏡、數(shù)碼相機(jī)和成像軟件，使其能夠開(kāi)發(fā)出功能強(qiáng)大、易于使用的數(shù)字成像顯微鏡系統(tǒng)。
·支持圖像流的所有方面，包括設(shè)置 佳觀看條件、數(shù)字圖像捕獲、處理和分析。