鄭州市金水區(qū)智研實驗室設備經營部(個體工商戶)
KT-Z1650CVD
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鄭州市
臺 39800元 66臺可售
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更新時間:2024-12-20 14:07:34瀏覽次數:85次
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小型磁控金屬鍍膜儀 KT—Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓,電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度可調節(jié)及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
小型磁控金屬鍍膜儀 KT—Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓,電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度可調節(jié)及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
*外形小巧方便移動
*觸摸屏控制,工藝記憶儲存方便鍍相同樣品
*自動化電動擋板,能自動打開關閉,保證鍍樣時間和保護樣品
*石英+不銹鋼腔體,方便觀察和清洗
小型磁控金屬鍍膜儀 技術參數
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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