鄭州市金水區(qū)智研實(shí)驗(yàn)室設(shè)備經(jīng)營(yíng)部(個(gè)體工商戶)
KT--Z1604T-R
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鄭州市
臺(tái) 98000元 66臺(tái)可售
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更新時(shí)間:2024-09-13 11:05:08瀏覽次數(shù):114次
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高真空探針臺(tái):可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高真空探針臺(tái):
真空探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量,真空腔一體成型,具有設(shè)計(jì)合理,真空度穩(wěn)定,溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn);根據(jù)測(cè)試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-190℃,;真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門級(jí)配置的用戶,可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度,從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測(cè)試要求。為了減少泵組的振動(dòng),我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器,很大程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng),以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的移動(dòng)。
高真空探針臺(tái)應(yīng)用:
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ參數(shù)
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺(tái)尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺(tái)間距 | 75mm |
加熱臺(tái)溫度 | ﹣190~400℃ |
加熱臺(tái)溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號(hào)接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |
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