運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y

X、Y

驅(qū)動(dòng)控制

2路驅(qū)動(dòng)，2路傳感

2路驅(qū)動(dòng)

標(biāo)稱行程范圍（0 ~+120 V）

16/軸

16/軸

μm±10%

Max.行程范圍（0~+150 V）

18/軸

18/軸

μm±10%

傳感器類型

SGS

-

閉/開(kāi)環(huán)分辨率

0.6

0.2

nm

閉環(huán)線性度

0.3

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

≤15

≤15

μrad

空載諧振頻率

2

2

KHz±20%

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

8

0.5

ms±20%

承載能力

0.5

0.5

kg

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)

鋁

鋁

出線長(zhǎng)

1.5

1.5

m±10mm