產(chǎn)品概述： 原子力顯微鏡PZ-6600 AFM采用掃描探頭和樣品臺集成一體的光機電一體化設(shè)計。高精度大范圍的樣品移動裝置可自由移動到感興趣的樣品掃描區(qū)域，自由變倍的CCD觀測系統(tǒng)可實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域。
一、功能特點:
1、光機電一體化設(shè)計，外形結(jié)構(gòu)簡單；
2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；
3、精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；
4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5、伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
6、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；
7、 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
8、自由變倍的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；
9、采用伺服馬達控制CCD對焦和光學(xué)放大；
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計，便于電路的持續(xù)改進與維護；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用
二、友好的軟件界面及操作功能:
1、多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
2、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
3、可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
4、可任意選擇樣品起始掃描角度；
5、激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能；
6、針尖共振峰自動和手動搜索功能；
7、可任意定義掃描圖像的色板功能；
8、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
9、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正；
規(guī)格參數(shù)： | 序號 | 名 稱 | 參 數(shù) |
| 01 | 工作模式 | 輕敲模式、接觸模式 |
| 02 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm |
| 03 | 掃描范圍 | 橫向50um，縱向5um |
| 04 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm |
| 05 | 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
| 06 | 掃描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A |
| 07 | 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
| 08 | 掃描角度 | 任意 |
| 09 | 樣品移動范圍 | 0～20mm |
| 10 | 馬達趨近脈沖寬度 | 10±2ms |
| 11 | CCD放大倍數(shù) | 光學(xué)放大0.6～5X，電子放大40X |
| 12 | 圖像采樣點 | 256×256，512×512 |
| 13 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
| 14 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 15 | 計算機接口 | USB2.0 |
| 16 | 運行環(huán)境 | 運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng) |
| 17 | 儀器重量體積 | 40KG，700*480*450mm |
