當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>臺(tái)式掃描電鏡>> CEM3000超清成像臺(tái)式掃描電鏡
CEM3000系列超清成像臺(tái)式掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非??旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無(wú)需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
不同于立式電鏡,CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。
此外,該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。
產(chǎn)品功能
1)臺(tái)式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡能夠不受場(chǎng)地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求,輕松移機(jī),一臺(tái)機(jī)器多處開花;
2)高分辨率,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測(cè)分析,滿足用戶的觀測(cè)需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,無(wú)需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;
5)大樣品倉(cāng),CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復(fù)合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測(cè);
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
該電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測(cè),具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時(shí)接收多種信號(hào),對(duì)樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:
性能特色
1、緊湊外型
該系列臺(tái)式掃描電鏡整機(jī)經(jīng)過深入優(yōu)化,在結(jié)構(gòu)方面達(dá)到了優(yōu)尺寸利用率,確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約,無(wú)論是日常的工作桌面、還是狹小空間,CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡總能陪伴用戶出現(xiàn)在有需要的地方。
2、自動(dòng)調(diào)節(jié)
用戶可借助自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,無(wú)需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
3、高分辨率
CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學(xué)系統(tǒng),優(yōu)于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測(cè)需求。
4、高抗振防磁性能
該系列臺(tái)式電鏡采用特殊設(shè)計(jì)的隔振措施,能夠減小環(huán)境中振動(dòng)對(duì)電鏡的干擾,并且全系列電鏡具有強(qiáng)抗電磁干擾性能,消除場(chǎng)地因素對(duì)電鏡的影響。
其中CEM3000B更是采用本公司設(shè)計(jì)的高性能復(fù)合抗振系統(tǒng)來消除外界振動(dòng)對(duì)電鏡的影響,即使是在高放大倍數(shù)下成像,用戶也不用擔(dān)心環(huán)境振動(dòng)對(duì)電鏡產(chǎn)生的干擾。
5、選配低真空系統(tǒng)
根據(jù)用戶需求,可選配低真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)讓用戶可以任意設(shè)定電鏡工作時(shí)的倉(cāng)內(nèi)真空度(倉(cāng)內(nèi)真空度低可達(dá)100Pa),以滿足不同類型樣品的觀測(cè)需求。
6、操縱手柄
操作手柄上集成了多個(gè)方向位移控制,自動(dòng)調(diào)整及自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)消像散等功能,可快速完成觀測(cè)位置調(diào)整及自動(dòng)成像。
7、豐富的定制功能
根據(jù)特定行業(yè)的需求,定制了自動(dòng)化的顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量等選配功能。
可根據(jù)用戶需求提供全自動(dòng)軟件定制服務(wù)。
8、高精度樣品臺(tái)
該系列臺(tái)式電鏡采用全新設(shè)計(jì)的樣品臺(tái),各自動(dòng)軸均保證了動(dòng)作精度和高重復(fù)性。
9、高襯度成像系統(tǒng)
CEM3000系列超清成像臺(tái)式掃描電鏡采集系統(tǒng)具有高信噪比,使用戶在快速掃描時(shí)也能獲取到充足的信號(hào)。即使針對(duì)微弱信號(hào),CEM3000系列臺(tái)式電鏡搭載的處理算法亦可將信號(hào)從背底中進(jìn)行高效剝離,確保成像質(zhì)量。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉(cāng)型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉(cāng)內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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