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中圖儀器CEM3000臺式電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡,CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。還可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式掃描電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
產(chǎn)品功能
1)臺式掃描電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;
2)高分辨率,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計,該系列臺式掃描電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復(fù)合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000臺式電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,該系列臺式掃描電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測,具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。
應(yīng)用范例:
產(chǎn)品型號
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉型)和CEM3000B(抗振型)兩款強化機型,CEM3000A在不改變整機外觀尺寸的情況下,拓展了樣品倉尺寸,從而可對大尺寸樣品或多個常規(guī)尺寸樣品進行分析。同時,用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時間的同時,消除環(huán)境振動對電鏡的影響,保證了高倍數(shù)成像時的圖像質(zhì)量。
此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | NS200 |
樣品觀察 | 500萬像素彩色攝像機 正視視野:2.2×1.7mm |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 200mm(8吋) |
臺階高度重復(fù)性 | 5 ?, 量程為330μm時/ 10 ?, 量程為1mm時(測量1μm臺階高度,1δ) |
尺寸(L×W×H)mm | 630×610×500 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
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