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各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物,其表面質(zhì)量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學(xué)影像方法,也沒有辦法克服它的高透明度特性。
中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。
金屬光滑凹面輪廓測量
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SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),能夠以優(yōu)于納米級的分辨率實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等等領(lǐng)域中的表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,具有的測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點。
產(chǎn)品特點
1、非接觸式測量:避免物件受損。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-10mm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器:實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面,強大而快速的運算。