臺(tái)階儀通過掃描被測樣品表面，獲取高分辨率的表面形貌數(shù)據(jù)，能夠揭示微觀結(jié)構(gòu)的特征和性能。

了解工作原理和性能特點(diǎn)

臺(tái)階儀利用掃描探針在樣品表面上進(jìn)行微觀測量，通過探測探針和樣品表面之間的相互作用力，獲取表面形貌信息。具體而言，掃描探針通過細(xì)微的力變化，測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通過數(shù)據(jù)處理，形成高分辨率的圖像。

它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的測量，對(duì)微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)進(jìn)行觀測和分析，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力，實(shí)現(xiàn)快速獲取樣品的形貌數(shù)據(jù)。

功能和作用介紹

作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺(tái)階儀可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。測量參數(shù)：

（1）臺(tái)階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度；

（2）粗糙度與波紋度：可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)；

（3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲。

臺(tái)階儀的應(yīng)用

臺(tái)階儀具有廣泛的適用范圍，在科學(xué)研究、材料表征、納米技術(shù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域都有應(yīng)用。如在半導(dǎo)體制造中，臺(tái)階儀可以用于檢測半導(dǎo)體材料表面的缺陷和形貌，為半導(dǎo)體器件的開發(fā)和生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)參考。

測量晶圓表面粗糙度

臺(tái)階儀具備出色的精確性和穩(wěn)定性，而且樣品適應(yīng)面廣，對(duì)測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。在材料科學(xué)、制造業(yè)、科研等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用價(jià)值。相信隨著科技的不斷發(fā)展，臺(tái)階儀將會(huì)在測量領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。

臺(tái)階儀優(yōu)勢(shì)總結(jié)

1、高精度的測量能力

臺(tái)階儀在微觀表面形貌的測量中非常準(zhǔn)確，能夠滿足高精度測量的需求。CP系列臺(tái)階儀具有亞埃級(jí)分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性。其500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量。

采用具有超微力可調(diào)和亞納米級(jí)分辨率的臺(tái)階儀測量ITO膜厚，高精度測量同時(shí)不損傷樣件本身。

2、快速測量的能力

臺(tái)階儀配備精密XY位移臺(tái)、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸，可對(duì)樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高測量精度及效率。快速獲取表面的高程數(shù)據(jù)，將測量結(jié)果以圖形的形式展現(xiàn)出來。這提高了測量效率，減少了測量時(shí)間。

3、廣泛的適用范圍

臺(tái)階儀可以對(duì)各種不同材料的表面進(jìn)行測量，包括金屬、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面還是曲面，臺(tái)階儀都能夠輕松應(yīng)對(duì)，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

典型應(yīng)用