5
光學輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。光學3D輪廓測量儀是精密光學測量設備，振動會對其測量精度造成擾動，所以幾乎都會配有隔振平臺。
3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中。
光學3D輪廓測量儀工作原理：
光學3D輪廓儀是利用光學顯微技術、白光干涉掃描技術、計算機軟件控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實現(xiàn)對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學計量儀器。
光學3D輪廓測量儀只需操作者裝好被測工件，在檢定軟件上設定物鏡倍率和測量模式后點擊“開始"按鈕，光學物鏡會對工件表面進行自動對焦和非接觸掃描，并按設定的位置進行測量，軟件界面會實時掃描物體宏微觀表面形貌；掃描結束后，操作者可通過分析工具對生成的3D形貌進行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數(shù)據(jù)。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。
