SuperView W3光學3D表面輪廓儀助力半導體智能制造
隨著半導體制造技術的發(fā)展,8 inch和12 inch晶圓已成行業(yè)主流,為適應現(xiàn)代化智能制造工廠生產管理需求,中圖儀器在SuperView W1光學3D表面輪廓儀基礎上進行升級,推出了新一代于半導體行業(yè)大尺寸晶圓自動化檢測的W3型光學3D表面輪廓儀。
SuperView W3光學3D表面輪廓儀,為半導體行業(yè)微觀檢測量身打造,具有多個顯著的優(yōu)點:
1.大300*300mm的行程,可適配12inch及以下的所有尺寸的晶圓;
2.同時兼容12inch及以下規(guī)格的真空吸盤,一臺設備,即可適用于多條產線;
3.可編程自動化測量,使用“低倍搜索,高倍測量”的方式,可以快速實現(xiàn)多區(qū)域的高精度定位測量。
觀看SuperView W3光學3D表面輪廓儀用于半導體劃片工藝,激光鐳射切割槽道輪廓深寬尺寸測量短視頻,感受其*魅力!