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德國PI納米定位平臺P-753電容式傳感器線性度高
自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸組合的各種定位平臺和致動器。從精密機械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開發(fā)的壓電陶瓷和致動器。我們開發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應(yīng)用版本。
主要產(chǎn)品：
PI納米定位壓電撓性平臺
PI微型位移臺
PI線性位移臺
PI線性致動器
PI旋轉(zhuǎn)位移臺
PI六足位移臺
PI 的納米定位平臺和掃描儀結(jié)合了納米級精度的分辨率和導(dǎo)向精度，并將串?dāng)_降低。因此，它們適用于計量、微觀工藝、干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢測系統(tǒng)中的基準(zhǔn)應(yīng)用。帶有 PICMA® 壓電致動器驅(qū)動和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺的行程范圍可達 1.5 mm。
P-753 LISA 線性致動器和定位平臺
位置動態(tài)穩(wěn)定
導(dǎo)軌平臺和執(zhí)行器同時使用
行程范圍達 38 µm
分辨率 0.1 nm
直接驅(qū)動，響應(yīng)特別快
電容式傳感器帶來較高線性度
P-620.Z - P-622.Z PIHera 垂直精密定位器
可變行程范圍和軸配置
行程范圍 50 µm 至 250 µm（開環(huán) 350 µm）
分辨率達 0.1 nm
線性誤差僅為 0.02
使用電容式傳感器直接測量位置
X、XY、Z、XYZ 版本
型號示例：
PI納米定位平臺p-621.1U
PI納米定位平臺p-625.1U
PI納米定位平臺p-620.Z
PI納米定位平臺p-622.Z
PI納米定位平臺p-753
PI納米定位平臺p-752
PI納米定位平臺p-750
PI納米定位平臺p-733.Z
PI納米定位平臺p-612.Z
PI納米定位平臺p-611.1
德國PI納米定位平臺P-753電容式傳感器線性度高
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