德國PI納米定位平臺P-562.6CD具有6個(gè)運(yùn)動軸精度更高

自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動或不同軸組合的各種定位平臺和致動器。從精密機(jī)械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開發(fā)的壓電陶瓷和致動器。我們開發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應(yīng)用版本。

主要產(chǎn)品：

PI納米定位壓電撓性平臺

PI微型位移臺

PI線性位移臺

PI線性致動器

PI旋轉(zhuǎn)位移臺

PI六足位移臺

P-518 - P-528 - P-558 壓電 Z/傾斜平臺 大孔徑，高動態(tài)

帶 3 軸的 Z 軸和top/傾斜平臺/帶 1 軸的 Z 軸平臺

Z 軸/傾斜角的行程范圍為 200 µm / 2 mrad，閉環(huán)（開環(huán)為 240 µm / 2.4 mrad）

平行運(yùn)動學(xué)，響應(yīng)時(shí)間更快，多軸精度更高

零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng)

采用 PICMA® 壓電執(zhí)行器，使用壽命長

66 毫米 × 66 毫米的凈空孔徑

電容式傳感器實(shí)現(xiàn)高線性度

P-562.6CD PIMars 6 軸納米定位平臺 具有 6 個(gè)自由度的高精度納米定位器

6 個(gè)運(yùn)動軸： 3 × 線性、3 × 旋轉(zhuǎn)

線性移動范圍達(dá) 200 µm，top/傾斜角度達(dá) 1 mrad

平行運(yùn)動學(xué)，響應(yīng)時(shí)間更快，多軸精度更高

采用電容式傳感器，線性度

零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng)

出色的掃描平面度

66 毫米 × 66 毫米的透明孔徑

采用 PICMA® 壓電致動器，使用壽命長

超高壓兼容至 10-9 hPa

型號示例：

PI納米定位平臺P-562.6CD

PI納米定位平臺P-518

PI納米定位平臺P-528

PI納米定位平臺P-558

PI納米定位平臺P-527

PI納米定位平臺P-517

PI納米定位平臺P-563

PI納米定位平臺P-562

PI納米定位平臺P-561

PI納米定位平臺P-733.3

德國PI納米定位平臺P-562.6CD具有6個(gè)運(yùn)動軸精度更高