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德國PI納米定位平臺P-561采用電容式傳感器
自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸組合的各種定位平臺和致動器。從精密機械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開發(fā)的壓電陶瓷和致動器。我們開發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應用版本。
主要產(chǎn)品：
PI納米定位壓電撓性平臺
PI微型位移臺
PI線性位移臺
PI線性致動器
PI旋轉(zhuǎn)位移臺
PI六足位移臺
P-733.3 XYZ 壓電納米定位儀 帶孔徑的高精度 XYZ 掃描儀
X 和 Y 移動范圍達 100 µm × 100 µm，Z 移動范圍達 10 µm
采用電容式傳感器，分辨率達 0.1 納米
直接驅(qū)動的高速版本
可根據(jù)要求提供超高真空兼容型和非磁性型
平行運動學，實現(xiàn)更高的精度和動態(tài)性能
零間隙、高精度撓性導軌系統(tǒng)
并行計量，主動補償導向誤差
50 mm × 50 mm 透明孔徑，適用于透射光應用
P-561 - P-562 - P-563 PIMars 納米定位平臺 多達 3 軸的高精度納米定位器
X 軸和 Y 軸平行運動學設(shè)計，響應時間更快，多軸精度更高
行程范圍達 300 × 300 × 300 µm
采用電容式傳感器，線性度高
零間隙和高精度撓性導軌
出色的掃描平面度
高動態(tài) XYZ 版本
66 mm × 66 mm 凈空
采用 PICMA® 壓電執(zhí)行器，使用壽命長
超高壓版本可達 10-9 hPa
型號示例：
PI納米定位平臺P-616
PI納米定位平臺P-611.3
PI納米定位平臺P-733.3
PI納米定位平臺P-561
PI納米定位平臺P-562
PI納米定位平臺P-563
PI納米定位平臺P-517
PI納米定位平臺P-527
PI納米定位平臺P-518
PI納米定位平臺P-528
德國PI納米定位平臺P-561采用電容式傳感器
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