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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
直接測量氣體的質(zhì)量，不需要溫度、壓力補(bǔ)償?shù)臍怏w流量測量儀表，它代表了氣體流量測量的發(fā)展趨勢。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級鉑電阻溫度傳感器組成，采用橋式環(huán)路，一個(gè)傳感器測量流體溫度，另一個(gè)傳感器為加熱元件，維持高于流體溫度的恒溫差，即氣體流過加熱元件時(shí)將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速和氣體的密度成正比。為了保持兩個(gè)溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關(guān)，由此測量流量。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)由一體式流量轉(zhuǎn)換器、流量傳感器組成。按流量傳感器的型式分為：插入式和管段式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用1、氧氣、氮?dú)?、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。（乙炔氣體除外）。2、高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣測量。 3、煙道氣測量。4、沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。5、壓縮空氣測量。6、天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測量。7、電廠高爐的一次風(fēng)、二次風(fēng)流量測量。8、礦井下通風(fēng)或排風(fēng)系統(tǒng)流量測量。
