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質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于值(0.1 MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于值(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源，氣壓很低，用普通MFC，不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明，定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC，這時MFC的工作壓差范圍，也會變小。注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時，不能讓汽化物在MFC中結(jié)露，結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露，可以對管路和MFC適當加溫，但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上，需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。
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