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小型離子濺射儀 型號(hào)BZ:BZ19-SBC-12

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主要性能指標(biāo):玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯金靶尺寸:Φ58mm真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S真空檢測(cè):皮氏計(jì)真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣

詳細(xì)介紹

主要性能指標(biāo):

玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm

試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯

金靶尺寸:Φ58mm

真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S

真空檢測(cè):皮氏計(jì)

真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空

工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)

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