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當(dāng)前位置:深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司>>維修>> 2401HORIBA VALVE噴射流量計(jì)0190
LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量計(jì)
EDWARDS愛(ài)德華分子泵維修Cryo-Plex16低溫泵
mks流量計(jì)DLT4B-34749MFVC-33167流量校準(zhǔn)計(jì)
HORIBA VALVE全新原件0190-36237流量計(jì)
MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空計(jì)AMAT氣體流量計(jì)0190-51152
Granville-Phillips 隔膜規(guī)390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N:390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
mks385620-4-GE-T-00049 真空計(jì) 356005-YE-T 傳感器
全新lam metal VODM 料號(hào):796-055344-005MKS傳感器51B13TCA2BA990/51C13TCA2BA990
<span font-size:14px;"="">TC6MVCR是AMAT 3310-01071、Teledyne Hastings DV-6-VCR和Brooks 8112105熱電偶儀表
HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液質(zhì)流量計(jì)
MKS MODE:1179A00452CR1BV真空計(jì) 流量計(jì)美國(guó) 日本
● 壓力測(cè)量范圍在10ˉ5Torr 到大氣壓,大于普通的皮拉尼真空計(jì)2個(gè)測(cè)量等級(jí)
● 3個(gè)用于工藝控制的中繼點(diǎn)(選擇性)
● 超的設(shè)計(jì)
● 為工藝控制提供高的測(cè)量精度
● 模擬的輸出和數(shù)字通訊(RS232或RS485)提供了簡(jiǎn)便的操作
● 可以抵御大氣沖擊和振動(dòng)
● 可以方便地安裝于任何方向,沒(méi)有任何測(cè)量精度的損失
● 可以替代任何供應(yīng)商的真空計(jì)和設(shè)施的升級(jí)
● 符合歐洲CE,EMC標(biāo)志
MKS925真空計(jì)可以使用于半導(dǎo)體工業(yè)的分析和鍍膜工藝上的測(cè)量。
● 一般的真空壓力測(cè)量
● 前極管路和低真空的測(cè)量
● 氣體的充填測(cè)量和控制
● 質(zhì)譜儀器的控制
● 真空計(jì)的啟動(dòng)
● 工藝系統(tǒng)的控制
● 控制系統(tǒng)的壓力
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
sell Exchang Repair
Description注入機(jī) FILAMENT P.S電源
Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration information:
1.Configured for 8'' wafer
2.automatic wafer handling
3.Cl2 based etching process
4.3 process modules
5.Inspected by SPTS OEM engineer
6.Missing 1x Mag7 robot
7.Missing 1x VCE B controller
8.Missing 1x 24V DC Power supply
bbbEDYNE傳感器DV-6VCR真空壓力器
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