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深圳市天鉉真空技術有限公司
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更新時間:2023-10-15 09:31:54瀏覽次數(shù):288次

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MKS626A02TDE真空計深圳市天鉉真空技術有限公司供應美國真空計流量計真空泵分子泵激光器INFICON皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數(shù)字皮拉尼技術

MKS626A02TDE真空計
深圳市天鉉真空技術有限公司供應美國真空計流量計真空泵分子泵激光器
INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數(shù)字皮拉尼技術。 不銹鋼傳感器單元堅固耐用,結(jié)構(gòu)設計緊湊,適用于半導體系統(tǒng)和標準應用,例如前級真空管。

益處

  • 輕松一鍵調(diào)節(jié) ATM 和 HV
  • 節(jié)省空間的堅固設計
  • 鋁質(zhì)殼體
  • 可在任意方向安裝
  • 不銹鋼測量單元,帶金屬密封饋入裝置
  • 便于集成的對數(shù)信號輸出
  • 螺紋接頭,具有 10 巴過壓能力
  • 250 °C 烘烤型
  • 在腐蝕應用中可選購鎳絲
  • 陶瓷饋入裝置,適用于腐蝕性的應用 (PSG510 & PSG512)
  • 可選設定點
  • RoHS 合規(guī)
典型應用
  • 高真空電離真空計控制
  • 前級真空壓力監(jiān)控
  • 真空系統(tǒng)中的安全電路
  • 高真空和低真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

類型

PSG500 tungstenPSG500-S tungsten, setpointsPSG502-S nickel, setpointsPSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughsPSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
測量原則thermal conductance according to Piranithermal conductance according to Piranithermal conductance according to Piranithermal conductance according to Piranithermal conductance according to Pirani
精度 (N2)
1 x 10-3… 100 毫巴% of reading±15%±15%±15%±15%±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3 毫巴% of reading±50%±50%±50%±50%±50%
100 … 1000 毫巴% of reading±50%±50%±50%±50%±50%
可重復性(空氣)
1 x 10-3… 100 毫巴% of reading2%2%2%2%2%
輸出信號(測量信號)
電壓范圍V0 … +10.30 … +10.30 … +10.30 … +10.30 … +10.3
測量范圍V+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0
測量范圍(空氣、O2、CO、N2)mbar5 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 1000
設定點
設定點數(shù)量2222
設置范圍mbar?2 x 10-3 … 5002 x 10-3 … 5002 x 10-3 … 5002 x 10-3 … 500
滯后% of reading?10% above lower threshold10% above lower threshold10% above lower threshold10% above lower threshold
繼電器觸點V (dc)                                             A (dc)?30303030
繼電器觸點: 轉(zhuǎn)換時間ms?<20<20<20<20
電源電壓
真空計上V (dc)+14 …+30+14 …+30+14 …+30+14 …+30+14 …+30
波紋V (p-p)≤1≤1≤1≤1≤1
電壓與壓強logarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decade
內(nèi)部容積
DN 16 ISO-KF,DN 16 CF-R,7/16-20 UNFcm3 (in.3)1.5 (0.092)1.5 (0.092)1.5 (0.092)1.5 (0.092)1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R 長管cm3 (in.3)10 (0.61)10 (0.61)10 (0.61)10 (0.61)10 (0.61)
1/8'' NPT,4 VCR,8 VCR,1/2'' 管cm3 (in.3)2 (0.122)2 (0.122)2 (0.122)2 (0.122)2 (0.122)
容許溫度
運行°C+5 … +60+5 … +60+5 … +60+5 … +60+5 … +60
真空連接 (1)°C80 / 250 (2)80 / 250 (2)80 / 250 (2)80 / 250 (2)80 / 250 (2)
貯存°C-20 … +65-20 … +65-20 … +65-20 … +65-20 … +65
重量
DN 16 ISO-KF,7/16-20 UNFg8080808080
DN 16 CF-R,4 VCRg100100100100100
1/8'' NPT,1/2'' 管g7070707070
8 VCR,DN 16 ISO-KF 長管g130130130130130
DN 16 CF-R 長管g140140140140140
錯誤信號V0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)
輸出電阻?2 x 4.72 x 4.72 x 4.72 x 4.72 x 4.7
*小負載電阻k?10, short-circuit proof10, short-circuit proof10, short-circuit proof10, short-circuit proof10, short-circuit proof
反應時間ms8080808080
真空計識別k?27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common
調(diào)整one tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustment
電流消耗mA<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)
功耗W≤1≤1≤1≤1≤1
電氣連接FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
傳感器電纜8 poles plus shielding8 poles plus shielding8 poles plus shielding8 poles plus shielding8 poles plus shielding
電纜長度m≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)
暴露于真空的材料glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
單絲WWNiWNi
容許壓力bar (absolute)10, limited to inert gases10, limited to inert gases10, limited to inert gases10, limited to inert gases10, limited to inert gases
安裝定位anyanyanyanyany
保護等級IP40IP40IP40IP40IP40

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