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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
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朝陽MKS氣體流量控制器649A-28238流量計He 50Sccm

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更新時間:2023-10-15 08:39:56瀏覽次數(shù):320次

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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司供應(yīng)美國真空計流量計真空泵分子泵激光器MKS氣體流量控制器649A-28238流量計He50SccmINFICON皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S型標(biāo)準(zhǔn)真空計采用當(dāng)今市場上的數(shù)字皮拉尼技術(shù)

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司供應(yīng)美國真空計流量計真空泵分子泵激光器MKS氣體流量控制器649A-28238流量計He 50Sccm


INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標(biāo)準(zhǔn)真空計采用當(dāng)今市場上的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。 不銹鋼傳感器單元堅固耐用,結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,例如前級真空管。

益處

  • 輕松一鍵調(diào)節(jié) ATM 和 HV
  • 節(jié)省空間的堅固設(shè)計
  • 鋁質(zhì)殼體
  • 可在任意方向安裝
  • 不銹鋼測量單元,帶金屬密封饋入裝置
  • 便于集成的對數(shù)信號輸出
  • 螺紋接頭,具有 10 巴過壓能力
  • 250 °C 烘烤型
  • 在腐蝕應(yīng)用中可選購鎳絲
  • 陶瓷饋入裝置,適用于腐蝕性的應(yīng)用 (PSG510 & PSG512)
  • 可選設(shè)定點(diǎn)
  • RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
  • 高真空電離真空計控制
  • 前級真空壓力監(jiān)控
  • 真空系統(tǒng)中的安全電路
  • 高真空和低真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

類型

PSG500 tungstenPSG500-S tungsten, setpointsPSG502-S nickel, setpointsPSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughsPSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
測量原則thermal conductance according to Piranithermal conductance according to Piranithermal conductance according to Piranithermal conductance according to Piranithermal conductance according to Pirani
精度 (N2)
1 x 10-3… 100 毫巴% of reading±15%±15%±15%±15%±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3 毫巴% of reading±50%±50%±50%±50%±50%
100 … 1000 毫巴% of reading±50%±50%±50%±50%±50%
可重復(fù)性(空氣)
1 x 10-3… 100 毫巴% of reading2%2%2%2%2%
輸出信號(測量信號)
電壓范圍V0 … +10.30 … +10.30 … +10.30 … +10.30 … +10.3
測量范圍V+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0+1.9 … +10.0
測量范圍(空氣、O2、CO、N2)mbar5 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 10005 x 10-4 to 1000
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量2222
設(shè)置范圍mbar?2 x 10-3 … 5002 x 10-3 … 5002 x 10-3 … 5002 x 10-3 … 500
滯后% of reading?10% above lower threshold10% above lower threshold10% above lower threshold10% above lower threshold
繼電器觸點(diǎn)V (dc)                                             A (dc)?30303030
繼電器觸點(diǎn): 轉(zhuǎn)換時間ms?<20<20<20<20
電源電壓
真空計上V (dc)+14 …+30+14 …+30+14 …+30+14 …+30+14 …+30
波紋V (p-p)≤1≤1≤1≤1≤1
電壓與壓強(qiáng)logarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decadelogarithmic 1.286 Volts per decade
內(nèi)部容積
DN 16 ISO-KF,DN 16 CF-R,7/16-20 UNFcm3 (in.3)1.5 (0.092)1.5 (0.092)1.5 (0.092)1.5 (0.092)1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R 長管cm3 (in.3)10 (0.61)10 (0.61)10 (0.61)10 (0.61)10 (0.61)
1/8'' NPT,4 VCR,8 VCR,1/2'' 管cm3 (in.3)2 (0.122)2 (0.122)2 (0.122)2 (0.122)2 (0.122)
容許溫度
運(yùn)行°C+5 … +60+5 … +60+5 … +60+5 … +60+5 … +60
真空連接 (1)°C80 / 250 (2)80 / 250 (2)80 / 250 (2)80 / 250 (2)80 / 250 (2)
貯存°C-20 … +65-20 … +65-20 … +65-20 … +65-20 … +65
重量
DN 16 ISO-KF,7/16-20 UNFg8080808080
DN 16 CF-R,4 VCRg100100100100100
1/8'' NPT,1/2'' 管g7070707070
8 VCR,DN 16 ISO-KF 長管g130130130130130
DN 16 CF-R 長管g140140140140140
錯誤信號V0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)0 … +0.5 (filament rupture)
輸出電阻?2 x 4.72 x 4.72 x 4.72 x 4.72 x 4.7
*小負(fù)載電阻k?10, short-circuit proof10, short-circuit proof10, short-circuit proof10, short-circuit proof10, short-circuit proof
反應(yīng)時間ms8080808080
真空計識別k?27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common27.0, referenced to supply common
調(diào)整one tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustmentone tactile switch for ATM and HV adjustment
電流消耗mA<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)<500 (max. starting current)
功耗W≤1≤1≤1≤1≤1
電氣連接FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, maleFCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
傳感器電纜8 poles plus shielding8 poles plus shielding8 poles plus shielding8 poles plus shielding8 poles plus shielding
電纜長度m≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)≤100 (8 x 0.14 mm2)
暴露于真空的材料glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
單絲WWNiWNi
容許壓力bar (absolute)10, limited to inert gases10, limited to inert gases10, limited to inert gases10, limited to inert gases10, limited to inert gases
安裝定位anyanyanyanyany
保護(hù)等級IP40IP40IP40IP40IP40

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