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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
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INFICON CDG025D電容膜片真空計

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更新時間:2023-10-14 21:59:59瀏覽次數(shù):749次

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INFICONSKYCDG025D電容膜片真空計屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空機(jī),在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能,數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點,如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整,抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長使用壽命

     INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空機(jī),在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能,數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點,如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整,抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長使用壽命。傳感器屏敝保護(hù)真空計防止過程污染。堅固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了EMC兼容性,長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。

 

優(yōu)              
    ◆   全刻度范圍從100毫乇…1000乇
    ◆   電源接通后的快速穩(wěn)定性
    ◆   暴露大氣壓后的快速恢復(fù)性
    ◆   抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測器
    ◆   的長期訊號穩(wěn)定性
    ◆   溫度補(bǔ)償
    ◆   保護(hù)傳感器防止污染
    ◆   一鍵調(diào)零功能
    ◆   寬范圍電源
    ◆   2個設(shè)點(選項)
    ◆   RS232接口(選項)
 
                
要求高的應(yīng)用條件下,精確而快速的壓強(qiáng)測量:
    ◆   用于刻蝕,CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
    ◆   資料貯存和顯示器制造設(shè)備
    ◆   工業(yè)真空設(shè)備
    ◆   常用高精度真空測量
 
        
CDG025D,溫度補(bǔ)償型
全刻度范圍                              法蘭型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
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100
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376-001
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376-003
10
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377-000
377-001
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377-003
1
13.3
0.13
378-000
378-001
378-002
378-003
0.1
13.3
0.13
379-000
379-001
379-002
379-003
 
CDG025D, 溫度補(bǔ)償型,帶2個設(shè)點和RS232接口
全刻度范圍                             法蘭型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-300
375-301
375-302
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-
110000
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376-501
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2666
26.7
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10
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13.3
377-300
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10
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0.25
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0.1
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