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當(dāng)前位置：深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司>>LINE TECh流量控制器>> M2030VA質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍：0.01-30 SLPM 最小流量范圍：0.01SLM
韓國萊因泰可( LINE TECH )高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器，廣泛應(yīng)用于所有工業(yè)，氣體混合及分析 ，半導(dǎo)體工業(yè)，光纖，燃料電池，反應(yīng)器系統(tǒng)，氣體的混合系統(tǒng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)堅(jiān)固、耐用，且經(jīng)濟(jì)。
優(yōu) 勢：
l 測量質(zhì)量流量
l 不需要溫度、壓力補(bǔ)償
l 緊湊的流量控制系統(tǒng)
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（90公斤）
l 量程范圍廣：0.01SLPM ~ 30SLPM 之間可選/
l 兩種輸入輸出信號：0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式：+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接： 15 針（D型插頭）
l 快速響應(yīng)時(shí)間兩種：＜ 1 秒 or ＜2秒 可選
l 高重復(fù)性（±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″
VCR ： 1/4″
規(guī) 格：
| 型號 | M2030VA |
| 流量范圍（N2) | 0.01~30 SLPM |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ＜1 秒 |
| 精確度 | ±1% |
| 重復(fù)精度 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作壓力 | 15 Bar |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9 atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~99% |
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