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當(dāng)前位置:深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司>>LINE TECh流量控制器>> M2100VA質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍:30-100 SLPM 最小流量范圍:30SLM
韓國(guó)萊因泰可( LINE TECH )高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器,廣泛應(yīng)用于所有工業(yè),氣體混合及分析 ,半導(dǎo)體工業(yè),光纖,燃料電池,反應(yīng)器系統(tǒng),氣體的混合系統(tǒng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)堅(jiān)固、耐用,且經(jīng)濟(jì)。
優(yōu) 勢(shì):
l 測(cè)量質(zhì)量流量
l 不需要溫度、壓力補(bǔ)償
l 緊湊的流量控制系統(tǒng)
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高壓(90公斤)
l 量程范圍廣:30SLPM ~ 100SLPM 之間可選/
l 兩種輸入輸出信號(hào):0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式:+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接: 15 針(D型插頭)
l 快速響應(yīng)時(shí)間兩種:< 1 秒 or <2秒 可選
l 高重復(fù)性(±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇:SWL: 1/4″、1/8″、3/8″
VCR : 1/4″
規(guī) 格:
型號(hào) | M2100VA |
流量范圍(N2) | 30~100SLPM |
響應(yīng)時(shí)間 | <1 秒 |
精確度 | ±1% |
重復(fù)精度 | ±0.25% |
輸入輸出信號(hào) | 0~5Vdc |
供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
工作壓力 | 15 Bar |
工作溫度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9 atm.cc/sec |
控制范圍 | 2~99% |
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