當前位置:深圳市天鉉真空技術有限公司>>Alicat質量流量控制器>> ALICAT質量流量控制器21系列
應用及案例
● 大學/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數控制,如體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣,0.01~99%
● 響應時間快,優(yōu)于100 ms
● 內置98種氣體
● 可現場編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲20種混合氣
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