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深圳市天鉉真空技術有限公司
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ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地

更新時間:2023-10-14 17:55:55瀏覽次數(shù):874次

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量程10SCCM-3000SLPM,優(yōu)于2%的精度,控制范圍廣,優(yōu)于100ms響應時間,適用于高壓應用 21Q系列氣體質量流量控制器,同我們的標準控制器一樣,能對需要較高管線壓力(160-320psia)的應用環(huán)境進行快速控制響應

量程10 SCCM-3000 SLPM,優(yōu)于2 %的精度,控制范圍廣,優(yōu)于100 ms響應時間,適用于高壓應用

21Q系列氣體質量流量控制器,同我們的標準控制器一樣,能對需要較高管線壓力(160-320 psia)的應用環(huán)境進行快速控制響應。這款高壓應用質量流量控制器可快速達到新的設定值,并保持該設定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據(jù)您的應用參數(shù)為您定制閥門和PID調節(jié)功能,確保相關產(chǎn)品能夠快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。

應用及案例

● 大學/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯

● 半 導 體 ● 汽車制造

● 光 伏 ● 燃料電池

● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色

● 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

● 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡中。

● 耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性,我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。


精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:

質量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程(取值)

測量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程

重復性 ± 0.1%滿量程

質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差

± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差


性能指標

介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類 內(nèi)置了98種氣體,請參考氣體兼容表

一臺設備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM()

測量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程

顯示流量 高達128%滿量程(取決于氣體)

可控流量 102.4%滿量程

顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度

精 度 ± 2%滿量程 精度升級見上段

重 復 性 ± 2%滿量程

零點漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應時間 優(yōu)于100 ms

預熱時間 <1s

標定工況 25 ℃&1Atm(其它標況可調)

工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫選項至100℃)

溫度精度 ± 0.75℃

工作濕度 0 ~ 99%

工作壓力 320 psia

滿量程壓損 參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率;

模擬信號:1000 Hz

屏幕刷新頻率 10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓 12 - 30 VDC (15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出)

供電電流 0.250 A

電氣接口 DB9,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率(外漏) 選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材 質 303和302不銹鋼、Viton?、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料,請聯(lián)系我們。

過程連接 詳情參考壓損表

安裝方式 對位置無要求

防護等級 IP40

認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

*如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需來電垂詢


選項配件

(需另行訂購)

● 過程端口接頭和過濾器

● 電源

● 通訊線纜和轉換線纜

● BB3和BB9多點式集線盒

● Flow Vision軟件


包裝清單

● MCQ系列高壓氣體質量流量控制器(電源需另行訂購)

● NIST可溯源校準證書

● 艾里卡特操作說明書


尺寸詳圖

21Q尺寸圖.png


尺寸壓損

滿量程質量流量控制器

滿量程壓損(PSID)

排氣到大氣中

機械尺寸1

過程連接2

10 SCCM ~ 50 SCCM

1.0

4.4''H x 3.4''W x 1.1''D

M-5 (10-32)(內(nèi)螺紋)

100 SCCM ~ 500 SCCM

1.0

4.6''H x 3.6''W x 1.1''D

1/8'' NPT 內(nèi)螺紋

1 SLPM

1.5

2 SLPM

3.0

5 SLPM

2.0

10 SLPM

5.5

20 SLPM

20.0

50 SLPM

9.0

5.7''H x 7.7''W x 2.3''D

1/4'' NPT 內(nèi)螺紋

100 SLPM

2.6

250 SLPM

4.6

6.0''H x 7.7''W x 2.3''D

1/2'' NPT 內(nèi)螺紋

500 SLPM

6.5

6.0''H x 7.3''W x 2.3''D

3/4'' NPT 內(nèi)螺紋

(A 1-1/4" NPT 內(nèi)螺紋可選過程連接

可用于2000 slpm 流量計)

1000 SLPM

14.0

1500 SLPM

17.0

2000 SLPM

28.6

6.0''H x 8.1''W x 2.9''D

3000 SLPM

16.8

6.0''H x 8.9''W x 2.9''D

1-1/4'' NPT 內(nèi)螺紋

注1、公制數(shù)據(jù)見圖紙;

2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容,也可根據(jù)要求連接VCR和SAE。

3、與M-5 (10-32)外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭一起裝箱。


產(chǎn)品大圖

21Q網(wǎng)站大圖.jpg


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