當(dāng)前位置:深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司>>Alicat質(zhì)量流量控制器>> ALICAT 質(zhì)量流量控制器11系列-基本型
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空鍍膜 ● 工業(yè)爐窯 ● 半導(dǎo)體 ● 汽車制造 ● 光伏 ● 燃料電池
● 計量 ● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
● 低價位產(chǎn)品
● 標配模擬控制方式,數(shù)字可選
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 單種氣體標定,請參考背面氣體兼容表
量 程 從0-10SCCM 到 0-20SLPM()
量 程 比 200:1
顯示流量:102.4%FS
精 度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程
重復(fù)性:± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ℃ / Atm
預(yù)熱時間:<1s
響應(yīng)時間:100ms(可調(diào))
標定工況:25?C & 100kPa 絕壓
工作溫度:-10 ~ +50℃
工作濕度:0-99%,無冷凝
標準工作壓力:1MPa 表壓
標準極限耐壓:1.2MPa 表壓
中壓選項:2MPa
模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
數(shù)字輸入/輸出信號:可選RS-232
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA
電氣接口:DB15
材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式:對位置無要求
防護等級:IP40
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