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產(chǎn)品介紹 |
GM50A質(zhì)量流量控制器 GM50A是一種金屬密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。 對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器,GM50A可作為直接替代的產(chǎn)品,標(biāo)準的3英寸底座使GM50A能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。 技術(shù)參數(shù): 全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。 控制量程:2% to 99%的全量程。 測量精度:全量程的1% 靈敏度:全量程的0.1% 熱機時間:小于2Min. 響應(yīng)速度:小于2Sec. 輸入電壓:±15VDC@100ma 輸出電壓:0-5VDC 連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 數(shù)字:RS485或Device net或Profibus 法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等 材質(zhì):316不銹鋼。 質(zhì)保期:有限保修自售出之日起12個月。 |
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