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Brooks質(zhì)量流量控制器用數(shù)據(jù)線
0152控制箱 顯示儀表 電源、讀數(shù)和設(shè)定控制器（已停產(chǎn)）
0550E_模擬橡膠密封質(zhì)量流量控制器
模擬橡膠密封;
流量范圍:N2:100 sccm-30000 sccm; H2:100 sccm-300000 sccm;
精度:±1% FS;
工作壓力:500 psig
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