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Brooks質(zhì)量流量控制器用數(shù)據(jù)線
0152控制箱 顯示儀表 電源、讀數(shù)和設定控制器（已停產(chǎn)）
5866M模擬金屬密封壓力式質(zhì)量流量控制器
模擬橡膠密封; 流量范圍:0-30000 sccm;
壓力范圍:7.25 psia -1450 psia FS(橡膠密封);
7.25 psia -72.5 psia FS(金屬密封);
精度:±0.5% FS
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