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日本KOFLOC DF-200C數(shù)字式質(zhì)量流量計
日本科賦樂KOFLOC數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 質(zhì)保 | 1年 |
日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
DF550C是基于DF200C基礎(chǔ)上的金屬密封產(chǎn)品，它除開擁有DF200
的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于
高真空、強腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合
泄漏率：1*10-11pa·m³/s以下
金屬密封，適用于對泄漏率有高要求場合
日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
性能參數(shù)：
| 量程(N2) | 10SCCM-10SLPM |
| 氣體 | 所有氣體 |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復(fù)性 | ±0.25%FS |
| 有效范圍 | 2- |
| 響應(yīng)時間 | 1秒以內(nèi) |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進(jìn)口大壓力 | 0.5Mpa |
| 工作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
| 溫度范圍 | 5~50℃ |
| 精度保證溫度 | 15~35℃ |
| 保存溫度 | -10~60℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
| 材質(zhì) | 本體SUS316L |
| 密封圈SUS316L | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 通訊接口 | RJ45 |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
| 供電 | +24VDC(±10%)300mA；±15VDC(±10%)300mA |
| 管路連接 | 標(biāo)配1/4UJR |
| 重量 | 約1100g |
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